山东有研刻蚀设备用硅材料及硅片扩产项目

一、项目单位基本情况

山东有研半导体材料有限公司,注册资本20亿元。公司作为有研硅的控股子公司,承接有研硅的资产和业务,主要从事半导体材料及其他新材料的研发、生产、销售、贸易等。目前,山东有研现有职工近700人。2023年企业实现营业收入9.01亿元、利润2.58亿元、税收3525万元、进出口5.3亿元。

二、项目建设规模及建设内容

项目占地60亩,新建厂房1.5万平方米,计划新增自动化生产、检测设备等200台套。项目建成后,可实现年新增204吨硅材料、8英寸硅片120万片。

三、项目建设期限及投资情况

2023年8月—2024年10月。

项目总投资17.4亿元,截至目前,累计完成投资8.57亿元。

四、项目形象进度及下一步计划

目前,新厂房建设基础、钢构等施工完成,正进行安装工程施工。下一步设备陆续采购、配管、调试、投产。

五、项目特点及经济社会效益

项目的刻蚀设备用硅材料技术已达到国际领先水平,将进一步提高集成电路设备关键部件的配套能力和自主产品的市场竞争力,提升硅材料产品国产化水平。

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