天衢新区：拔节起势 活力新城风正劲

③有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目 龙头带动释放“乘数效应”

德州新闻网讯 记者李榕通讯员韩哲叶龙庭

12月21日，在位于天衢新区的山东有研艾斯半导体材料有限公司无尘车间内，经过单晶拉制、滚磨截断、线切割等数十道工序，一片片12英寸大硅片被生产出来。

硅片是制造芯片的关键材料，相当于芯片的“地基”。有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目是省重大项目，占地150亩、总投资62亿元。其中一期投资25亿元，于今年10月16日通线量产。该项目全部达产后，将形成年产360万片的生产规模，届时山东省12英寸大硅片全国市场份额将达到20%，彻底改变我国12英寸大硅片依赖进口的局面。

“我们是山东省内唯一生产12英寸大硅片的企业，目前可实现月产能10万片。”山东有研艾斯总经理闫志瑞指着一片硅片向记者介绍，12英寸大硅片的面积是8英寸硅片的2.25倍，可使用率是其2.5倍左右，单片产出的芯片数量和经济效益明显增加。

“有研艾斯12英寸抛光片主要应用于28nm及以下制程范围制造逻辑电路、存储器等高集成度的芯片，在技术方面处于全国领先地位。”闫志瑞称，该项目产品主要供应台积电、中芯国际、济南比亚迪、青岛芯恩等集成电路制造企业，同时产品远销美国、日本、韩国等多个国家，在国内外市场享有良好的知名度和影响力。

2018年，新区与中国有研科技集团首次“牵手”，在新区建成了省内首条8英寸硅片生产线，填补了德州集成电路产业链空白。此后，该集团在新区发展一路高歌猛进，陆续上马了6大产业项目，有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目便是其中的典型代表。“该项目于2019年12月正式签约，是全国通过窗口指导的5个12英寸大硅片项目之一，2022年6月开工建设，在省、市领导及相关部门的支持帮助下，历时16个月建成。”区投资促进部电子信息产业促进局局长叶龙庭说。

天衢新区依托中国有研科技集团的“集成电路关键材料国家工程研究中心”，先后引进了有研8英寸硅片、12英寸硅片、洁净阀门、高纯靶材、刻蚀机硅部件等6个项目，毗邻布局、集聚规划了占地800余亩的集成电路关键材料基地，总投资近百亿元。项目全部建成后，年销售收入可突破100亿元，将满足我国大规模集成电路产业对硅衬底基础材料的迫切需求，使德州市乃至山东省在集成电路关键材料领域，硅材料处于国内第一方阵、靶材遥遥领先。

有研项目是天衢新区集成电路产业“龙头”，更是彰显产业蓬勃发展的生动缩影。近年来，天衢新区将集成电路产业作为“一号产业链”，成立工作专班，集聚要素资源、加大招引力度。目前，全区已集聚集成电路企业121家，其中规上企业36家，形成了以硅材料、高纯溅射靶材为特色的半导体材料产业；以威讯公司为代表的封装测试产业；以英望手机、恒芯电子以及液晶显示模组、摄像头模组配套的整机制造产业，2023年天衢新区电子信息产业成功入选山东省特色产业集群。天衢新区已成为德州集成电路重点企业的集聚区，年产值由2013年的1.27亿元增至2023年的67.34亿元，10年间增长52倍。