有研亿金高纯溅射靶材项目1号生产车间。记者刘振兴摄

有研亿金高纯溅射靶材项目。记者刘振兴摄

——有研亿金高纯溅射靶材项目投产背后的4件暖心事

记者李榕刘潇通讯员韩哲夏贞宝

9月20日，有研亿金集成电路用高纯溅射靶材项目投产仪式在天衢新区举行，标志着该项目正式通线量产。

有研亿金集成电路用高纯溅射靶材项目总投资6亿元，建筑面积4.3万平方米，达产后年产能达到4.3万块，销售收入9亿元。这是中国有研科技集团在我市投资的第4个项目，也是今年在我市新开工、投产的第2个项目。项目投产后，德州市将成为华北地区最大的集成电路用高纯溅射靶材生产基地。

“该项目主要以生产高纯铜、铜合金、钽、钴等多种材质靶材为主，主要用于12英寸大尺寸晶圆制造。通过PVD基台，可以将靶材沉积到晶圆上，用于晶圆制造的‘金属化’过程，可实现电子元器件的互联等功能。”有研亿金新材料（山东）有限公司副总经理万小勇称，有研亿金研发团队历经多年技术攻关，将铜、铜合金等靶材用金属的纯度提炼到了99.9999%以上，开发的12英寸系列靶材成功用于国内先进制程逻辑芯片和存储芯片，是国内领先、全球少数几家掌握集成电路用高纯溅射靶材垂直一体化成套制备技术的企业。该项目投产后，企业的市场份额力争占据世界集成电路用靶材领域的20%以上，生产规模达到世界前三水平，能够有效解决高端芯片制造靶材“卡脖子”问题。

谈及项目的顺利投产，有研亿金新材料（山东）有限公司总经理滕海涛用“顶格”二字为天衢新区的服务点赞。

项目建设期间，有4件暖心事令滕海涛印象深刻。

第一件事：部门靠前服务，项目“拿地即开工”。

在项目办理施工许可阶段，天衢新区行政审批部门提前为其出具桩基开工证，实行“产业项目‘双线并行’审批机制”，即一条线办理土地征收出让手续，一条线办理项目立项、环评、规划等手续，使项目提前3个月进场施工。

不仅是有研亿金靶材项目，在有研“军团”中，有研12英寸硅片、有研艾斯项目均是“产业项目‘双线并行’审批机制”的受益者。目前，全区有80余个项目因此受益。

第二件事：召开专题推进会，解决项目大门开设难题。

此前，项目方计划在东方红路段开设北大门，便于人员和施工材料进场。区行政审批部联合9部门到现场集中勘查，组织召开专题推进会，对大门规划设计和水、燃气管网、电力设施改造等问题提出可行性意见和解决方案。并成立专班推进，及时解决项目方诉求。

第三件事：2天内解决生产设备进场调试难题。

企业设备进场调试需具备1万千伏安的用电负荷需求，但当时项目现场是临时用电，无法满足。帮包单位天衢新区投资促进部坚持特事特办、快事快办，当即协调电力部门，筹建行动小组，建设组合式变电站，为设备调试提供保障，整个过程仅用了2天时间。

第四件事：为企业申请人才公寓，团队人员心无旁骛干事业。

项目建设过程中，有研亿金北京总部派出40余名核心技术骨干，入驻天衢新区支援项目建设，吃饭、住宿成了一大难题。新区想在企业前面，区投资促进部积极协调20余套人才公寓，解除了企业的后顾之忧。万小勇是团队中的一员，他直言：“来了半年多，最大的感受是环境好、服务优、效率高！”

近年来，天衢新区牢固树立“项目为王”工作理念，用活用好省市支持新区发展政策，持续深化“放管服”改革，聚焦重点领域和关键环节，紧紧围绕项目全生命周期服务、创新审批机制、提高项目落地效率等方面抓突破，创新“快入准营”模式，打造营商环境“金名片”。“德州与有研科技集团的合作亮点频现，有研亿金集成电路用高纯溅射靶材项目的投产，将进一步延伸新区集成电路产业链条、提升产业层次和水平，助力德州打造‘全国重要的集成电路关键材料基地’。下一步，新区将继续顶格推进招商引资和重大项目建设等重点工作，让企业引得来、留得住、发展好。”市委常委、天衢新区党工委书记祁小青说。