——山东有研公司自主产品技术水平全球领先

德州新闻网讯（记者王志强通讯员韩哲）今年刚刚过了4个月，山东有研半导体材料有限公司的半导体级硅片生产订单已排满全年，客户排队等待产品下线。4月19日，该公司总工程师肖清华估算，2021年该公司预计销售额约7亿元，而去年的销售额为2000多万元。

山东有研半导体材料有限公司2018年落户德州经开区，去年刚刚投产，产品为何会这么火？

掌握核心技术，产品销路不愁。

4月15日，2020年度山东“十大科技成果”“十大科技新闻”揭晓。山东有研半导体材料有限公司“满足14纳米集成电路装备用的18英寸硅单晶及部件全国首次成功投产”上榜“十大科技成果”。

大规格高纯硅单晶是先进半导体设备的核心部件材料，是纳米级半导体制程良率的重要保障。经过几年的努力，国家重点研发计划“大尺寸高纯稀有金属制品制备技术”结出丰硕成果，成功攻克大规格高纯硅单晶技术，并于去年下半年在德州经开区实现成果转化，填补了国内空白。

“单晶尺寸越大，能量控制难度越高。”肖清华说，硅单晶的形成是能量转换的过程，直径大的硅单晶产生的热量大，如果热量散不出去，超出承载力等，晶体容易裂开，因此控制热量传输尤为关键。

该成果立足于自主创新，形成了独特的加热装置、单晶信号检测方案、收尾控制方法、位错缺陷判断装置、温度闭环控制等手段，让原子团乖乖排队，做统一动作，有效解决了大规格单晶生长过程热应力、固液界面稳定性、氧含量、纯度、典型缺陷及电阻率控制等问题，达到全球领先水平，形成20余系列产品，全覆盖客户端需求，长成单晶直径达到18英寸，为全球最大硅单晶尺寸，纯度可到11N。

和此款产品一样，山东有研公司的多款产品因科技含量高，颇受欢迎。美国、日本、韩国的硅部件厂商抢着下订单，安装于泛林、东京电子等顶尖半导体设备厂商的刻蚀机产品中，并在台积电等产线中使用。